Products製品情報

ガスフィルター

セラミックガスフィルター
高濾過精度・高耐蝕性を特徴とするセラミックフィルターにより、ガス配管系内のパーティクルを高レベルで除去し、同時に高選択性を実現します。(200℃の高温べーキングが可能、これによりフィルターからの脱ガスH20濃度を5ppb以下に低減)
PGFシリーズ
ハニカム構造エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量10~200L/min
PGFL/PGFLXシリーズ
ハニカム構造エレメント 濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量20~1200L/min
UCFシリーズ
チューブ状エレメント 濾過精度0.01μm 推奨流量10~100L/min
SPCシリーズ
チューブ状エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量10L/min
UCH/UCHXシリーズ
濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量10~200L/min
メタルガスフィルター
エレメントを含む全ての材質にSUS316Lを採用し、コンパクト設計・高濾過精度に加えて高耐熱性(460℃)を実現したULSI製造用高性能ガスフィルターです。
RGFシリーズ
チューブ状エレメント 濾過精度0.1~10μm 推奨流量40~60L/min
UCD/UCDXシリーズ
ディスク状エレメント 濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量10~150L/min
UCS/UCSX-Mシリーズ
チューブ状エレメント 濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量15~250L/min
ハイブリットフィルター
PGH/PGTシリーズ
濾過精度0.3μm/1μm/0.5μm
ベントフィルター
FBA/FBAXシリーズ
濾過精度0.003/0.0015μm
ハステロイガスフィルター
エレメントやハウジングの材質にハステロイ®を採用し、圧力損失が極めて低くコンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
UCS-Hシリーズ
エレメントにハステロイ®を採用 濾過精度0.003μm 推奨流量15~250L/min
UCH/UCHX-Mシリーズ
全ての材質にハステロイ®を採用 濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量15~250L/min
PTFEガスフィルター
エレメントにPTFE膜を採用した高耐食性インラインガスフィルターです。PTFE製の2層膜で 高い濾過性能と低圧力損失を実現し、ユースポイントまでガスの純度を落とすことなく供給できます。
TFシリーズ
濾過精度0.01μm 推奨流量40~5000L/min
*TF-4シリーズは2017年5月に廃版になりました。
STF/STFXシリーズ
濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量40~5000L/min
*STF-4シリーズは2017年5月に廃版になりました。
STF/STFX-3000シリーズ
濾過精度0.003/0.0015μm 推奨流量40~170L/min

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