ガスフィルター
- セラミックガスフィルター
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高濾過精度・高耐蝕性を特徴とするセラミックフィルターにより、ガス配管系内のパーティクルを高レベルで除去し、同時に高選択性を実現します。（200℃の高温べーキングが可能、これによりフィルターからの脱ガスH20濃度を5ppb以下に低減)
- PGFLXシリーズ
- ハニカム構造エレメント 濾過精度0.0015μm 推奨流量10～200L/min
- UCHXシリーズ
- 濾過精度0.0015μm 推奨流量15～250L/min
- PGFシリーズ
- ハニカム構造エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量10～200L/min
- PGFLシリーズ
- ハニカム構造エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量20～400L/min
- UCFシリーズ
- チューブ状エレメント 濾過精度0.01μm 推奨流量10～160L/min
- SPCシリーズ
- チューブ状エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量10L/min
- UCHシリーズ
- 濾過精度0.003μ 推奨流量40～200L/min
- メタルガスフィルター
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エレメントを含む全ての材質にSUS316Lを採用し、コンパクト設計・高濾過精度に加えて高耐熱性（460℃）を実現したULSI製造用高性能ガスフィルターです。
- UCDXシリーズ
- ディスク状エレメント 濾過精度0.0015μm 推奨流量10～100L/min
- UCSX-Mシリーズ
- チューブ状エレメント 濾過精度0.0015μm 推奨流量15～250L/min
- UCDシリーズ
- ディスク状エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量10～100L/min
- RGFシリーズ
- チューブ状エレメント 濾過精度0.1～10μm 推奨流量40～60L/min
- UCS-Mシリーズ
- チューブ状エレメント 濾過精度0.003μm 推奨流量15～250L/min
- ハステロイガスフィルター
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エレメントを含む全ての材質にハステロイ®を採用し、圧力損失が極めて低くコンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
- ＰＴＦＥガスフィルター
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エレメントにＰＴＦＥ膜を採用した高耐食性インラインガスフィルターです。ＰＴＦＥ製の２層膜で 高い濾過性能と低圧力損失を実現し、ユースポイントまでガスの純度を落とすことなく供給できます。
- STFXシリーズ
- 濾過精度0.0015μm 推奨流量40～300L/min
- STFX-3000シリーズ
- 濾過精度0.0015μm 推奨流量40～150L/min
- TFシリーズ
- 濾過精度0.01μm 推奨流量40～300L/min
＊TF-4シリーズは2017年5月に廃版になりました。
- STFシリーズ
- 濾過精度0.003μm 推奨流量40～300L/min
＊STF-4シリーズは2017年5月に廃版になりました。
- STF-3000シリーズ
- 濾過精度0.003μm 推奨流量40～150L/min
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