Products製品情報

分子フローコントローラー

分子フローコントローラー
標準コンダクタンスエレメント(別売)を用いて、真空容器内に既知の流量の各種気体を導入することができる装置です。
PMFC-100シリーズ
上流圧力範囲 ≦ 103kPa

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