標準コンダクタンスエレメント
- 標準コンダクタンスエレメント（校正リークエレメント／極微小流量エレメント）
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ピュアロンのSCEシリーズは、各種ガスを粘性流の状態から中間流を介さずに直接分子流として真空チャンバ内に導入することを可能にした製品であり、従来の校正リークに代わる機器として使用することができます。
- SCEシリーズ
- 分子流コンダクタンス 5×10-11 m3/s(N2ガス)～
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