ＩＧＳ(集積)
- ＩＧＳ(集積)
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各種集積化ガスシステム用のガスフィルターと圧力センサーです。
- FI/FIX/SI/SIXシリーズ
- 各種集積化ガスパネル用ガスフィルターで、高濾過精度と耐蝕性で定評のセラミックフィルターとオールメタルフィルターをラインナップ
（濾過精度 0.003/0.0015μm 推奨流量 数LPM～80LPM）
- PCシリーズ
- 高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーで、ゲージ圧・絶対圧ともに幅広いレンジで測定可能
(出力形態：0～100mV、0～50mV 、4～20mA、0～5V）
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