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超高純度ガス小型精製器はユースポイントにおいて不活性ガスや、特殊ガス中に含まれる水分、酸素、ハイドロカーボンなどの不純物を高効率で除去します。
GP/GPFシリーズ
精製材:メタル、ゲッター、他
GPFCシリーズ
精製材:単一球状活性炭
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