가스 필터
- 세라믹 가스 필터
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높은 여과 정밀도・높은 내식성을 특징으로 하는 세라믹 필터로、가스 배관계통 내부의 파티클 제거가 높고、동시에 선택의 폭이 넓습니다。（200℃의 고온 베이킹을 가능하케 하고、H20농도를 5ppb이하로 저감)
- PGF시리즈
- 벌집 구조 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량 10～200L/min
- PGFL/PGFLX시리즈
- 벌집 구조 요소 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천 유량 20～1200L/min
- UCF시리즈
- 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.01μm 추천유량 10～100L/min
- SPC시리즈
- 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천유량 10L/min
- UCH/UCHX시리즈
- 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천유량 10～200L/min
- 메탈 가스 필터
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요소를 포함 모든 재질에 SUS316L을 채용하여、컴팩트 설계・높은 여과 정밀도, 높은 내열성（460℃）을 실현한 ULSI 제조용 고성능 가스 필터입니다。
- RGF시리즈
- 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.1～10μm 추천유량 40～60L/min
- UCD/UCDX시리즈
- 디스크형 엘리먼트 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천 유량 10～150L/min
- UCS/UCSX-M시리즈
- 듀브 형태 요소 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천유량 15～250L/min
- FBA/FBAX시리즈
- 여과 정밀도 0.003/0.0015μm
- 하스테로이 가스 필터
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엘리먼트나 하우징의 재질에 하스테로이(R)를 채용해, 압력 손실이 지극히 낮고 컴팩트 사이즈로 보다 고유량의 가스를 처리할 수 있습니다.
- UCS-H시리즈
- 엘리먼트에 하스테로이(R)를 채용 여과 정밀도 0.003μm 추천유량 15～250L/min
- UCH/UCHX-M시리즈
- 모든 재질에 하스텔로이® 채택 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천유량 15～250L/min
- PTFE가스 필터
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요소에 ＰＴＦＥ막을 적용한 높은 내식성 인라인 가스 필터입니다。ＰＴＦＥ재질의 2층막으로 높은 여과 정밀도와 저압력 손실을 실현하여、사용 지점까지 가스의 순도를 떨어뜨리지 않고 제공 가능 합니다。
- TF시리즈
- 여과 정밀도 0.01μm 추천유량 40～5000L/min *TF-4 시리즈는 2017년5월에 폐판 되었습니다。
- STF/STFX시리즈
- 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천유량 40～5000L/min *STF-4 시리즈는 2017년5월에 폐판 되었습니다。
- STF/STFX-3000시리즈
- 여과 정밀도 0.003/0.0015μm 추천유량 40～170L/min
문의
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영업시간 8:00~17:00
