표준 컨덕턴스 요소
- 표준컨덕턴스소자(표준리크/초미세가스유량소자)
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퓨어론의 SCE 시리즈는 점성유동 상태에서 진공챔버로 유입되지 않고 분자유동 상태의 여러 가스를 유입시킬 수 있는 제품입니다. 본 제품은 기존의 표준리크(침투/모세관)를 대체할 수 있는 제품입니다.
- SCE 시리즈
- 분자 흐름 전도도 5x10-11 m3/s(N2 가스)~
문의
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영업시간 8:00~17:00
