产品信息分子流控制器

分子流控制器

分子流控制器
配合使用“标准电导元件”（此部件单独出售）的分子流量控制器（PMFC-100）可以将已知流量的各种气体引入真空室。
PMFC-100系列
上游压力范围 ≤ 103kPa

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