产品信息标准电导元件 (标准泄漏/超微量气体流量元件)

标准电导元件

标准电导元件 (标准泄漏/超微量气体流量元件)
Pureron的SCE系列是一种可以将各种气体从粘流状态不经过中间态直接作为分子流引入真空室的产品,该产品可以替代传统的校正泄漏孔(渗透/毛细管)。
SCE系列
分子流电导5x10-11 m3/s(N2气)~

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