产品信息气体过滤器

气体过滤器

陶瓷气体过滤器
具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃ 高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）
PGF系列
蜂窝状构造滤芯　过滤精度0.003μm　推荐流量10～200L/min
PGFL/PGFLX系列
蜂窝状构造滤芯　过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量20～1200L/min
UCF系列
管状滤芯　过滤精度0.01μm　推荐流量10～100L/min
SPC系列
管状滤芯　过滤精度0.003μm　推荐流量10L/min
UCH/UCHX系列
过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量10～200L/min
金属气体过滤器
全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。
RGF系列
管状滤芯　过滤精度0.1～10μm　推荐流量40～60L/min
UCD/UCDX系列
圆盘状滤芯 过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量10～150L/min
UCS/UCSX-M系列
管状滤芯　过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量15～250L/min
混合过滤器
PGH/PGT Series
过滤精度:0.3μm/1μm/0.5μm
排气过滤器
FBA/FBAX系列
过滤精度0.003/0.0015μm
哈司特镍合金气体过滤器
元件和外壳材料采用Hastelloy ®，压力损失极低，尺寸紧凑，可处理更高流量的气体。
UCS-H系列
元件由 Hastelloy® 制成　过滤精度0.003μm　推荐流量15～250L/min
UCH/UCHX-M系列
所有材料均由 Hastelloy® 制成　过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量15～250L/min
PTFE气体过滤器
采用PTFE膜的高耐腐蚀的内嵌式气体过滤器。具备2层PTFE膜，实现了高过滤性能和低压力损失。
TF系列
过滤精度0.01μm　推荐流量40～5000L/min
*TF-4系列于2017年5月停产。
STF/STFX系列
过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量40～5000L/min
*STF-4系列于2017年5月停产。
STF/STFX-3000系列
过滤精度0.003/0.0015μm　推荐流量40～170L/min

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