集成式IGS
- FIX/SIX系列
- 该系列有高过滤精度的陶瓷滤芯款式(0.0015μm)和金属滤芯款式(0.0015μm)。
- FI/SI系列
- 各种集成式气体过滤器,高过滤精度和耐腐蚀性的陶瓷过滤器和全金属过滤器(过滤精度 0.003μm 推荐流量 几LPM~120LPM)
- PC系列
- 高精度、高耐腐蚀的各种集成式压力传感器,表压、绝对压都能在较大范围内进行测定(输出范围:0~100mV、0~50mV 、4~20mA、0~5V)
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