集成式IGS
- FI/FIX/SI/SIX系列
- 各种集成化气体面板用气体过滤器中，高过滤精度和耐蚀性广受好评的陶瓷过滤器和全金属过滤器阵容
(过滤精度为 0.003/0.0015μm，建议流量为几 LPM 至 80LPM)
- PC系列
- 高精度、高耐蚀性为特点的各种集成化气体系统用压力传感器，表压、绝对压均可在大范围内进行测量
(输出:0~100mV、0~50mV、4~20mA、0~5V)
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营业时间 8:00-17:00
