| 1985년 |
- 8월:
- 도쿄도 미나토구 미나미마치 아오야마에 설립
- 10월:
- 도쿄도 오타구 니시코우지야에 개발센터 개설
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| 1986년 |
- 1월:
- 세계 최초 반도체 제조 라인용 세라믹 가스 필터 PGF 시리즈 개발･판매
- 9월:
- 반도체 제조 장치용 고정도 압력센서 ＰＣ-３０２시리즈 개발･판매
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| 1987년 |
- 6월:
- 도쿄도 하치오지시 본사 ･공장 이전
- 8월:
- 업계 최조의 가스 라인 베이킹 시스템 개발･판매
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| 1988년 |
- 10월:
- 업체 최초반도체 제조 라인용 고내식성 하스테로이®Ｃ-２２기구ＵＣＨS시리즈 개발･판매
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| 1989년 |
- 7월:
- 제１４회 하루시케 이노우에상 그룹 수상
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| 1991년 |
- 3월:
- 반도체 제조 라인용 모든 메탈 필터 ＵＣＳ 시리즈 개발･판매
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| 1994년 |
- 2월:
- 초순도 가스 소형 퓨리 필터ＧＰ 시리즈 개발･판매
- 8월:
- 고성능 압력 트렌스미터 ＰＣ-３０４시리즈 개발･판매
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| 1995년 |
- 7월:
- 후쿠시마 이와끼시 요시마 공업단지 본사 공장 신설
도쿄도 하치오지시 도쿄 지부 개설
메탈 원소（ＳＵＳ３１６L및 하스테로이®Ｃ-２２） 개발･판매
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| 2001년 |
- 4월:
- 도쿄 지사를 이와키시 본사 공장과 통합
소음 내구성이 높은 압력센서 ＰＣ-７００ 시리즈 개발･판매
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| 2004년 |
- 10월:
- 업체 최초 ３００℃압력 센서 ＰＣＨ-１０００ 시리즈 개발･판매
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| 2005년 |
- 10월:
- ＰＴＦＥ엘리멘트 가스 필터 ＴＦ 시리즈 개발･판매
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| 2006년 |
- 2월:
- 고정도미세 차압계ＰＣＺ-３００시리즈 개발･판매
- 4월:
- ISO １４００１：２００４인증 취득（본사・이와키 공장）
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| 2007년 |
- 4월:
- 최고 1 등급 크린룸 증설
고진공 초음파 특수세정장치및 시스템 도입
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| 2008년 |
- 1월:
- ISO ９００１：２０００인증 취귿（본사・이와키 공장）
- 3월:
- 도쿄도 추오구에 도쿄 사무소 개설
- 6월:
- 경제산업성과 중소기업진흥청이 선정한 '활력있는 제조업 중소기업 300'에 선정되었습니다.
- 12월:
- ISO ９００１：２０００ 인증 취득（도쿄 사무소）
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| 2009년 |
- 3월:
- ISO １４００１：２００４ 인증 취득（도쿄 사무소）
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| 2010년 |
- 1월:
- ISO ９００１：２００８ 인증 취득（본사・이와키 공장・도쿄 사무소）
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| 2011년 |
- 7월:
- 경제산업성 「전략적 기반기술 고도화 지원 사업」「신규 광대역 MEMS 기압센서 연구개발」에 채택되었습니다
- 10월:
- 프로젝트 주제는 경제산업성이 채택한 정교한 기술 인프라 지원 사업 전략에 따라 표준 컨덕턴스 요소를 사용하는 기준에 도입된 마이크로 가스 유량 개발입니다.
- 12월:
- 정수기 「준신수이」 개발 및 판매
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| 2012년 |
- 9월:
- 일본 과학기술청(JST) 「복원촉진사업(매칭촉진) Type Ⅱ」등재, 연구명 「산업용 X선장치용 고선량 냉음극 X선관 개발」
- 12월:
- SUS316L 하우징과 하스텔로이 카트리지를 사용한 가스켓 가스 필터 '개스킷이 있는 가스 필터' PGH 시리즈, UCS-H 시리즈를 개발, 판매
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| 2013년 |
- 12월:
- 원추형 가스필터 PGT 시리즈, 소형 대유량 PTEE 가스필터 Mega Flow 시리즈와 일체형(1.125인치, 1.5인치 대응) 고온절대압력센서 개발 및 판매
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| 2014년 |
- 3월:
- 표준 컨덕턴스 소자 SCE, 마이크로 가스 흐름 도입 장치 PMFC-100 시리즈 판매 개시
- 10월:
- 「의료기기 제조업 허가」(허가번호：07BZ200060)를 취득했습니다
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| 2015년 |
- 7월:
- ISO13485:2003 인증 획득
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| 2016년 |
- 8월:
- 「IoT 기술개발을 가속화하는 오픈 이노베이션 추진 사업」으로 미션형 산업기술개발기금에 채택
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| 2017년 |
- 9월:
- 후쿠시마 현 상공 노동 산업 창조과 "지역 부흥 실용 발전 추진과"로부터 "가정 의료 및 응급 의료용 의료용 X 선관 및 휴대용 냉 음극 X 선 소스 개발 실증"으로 선정 프로젝트 보조금 "
- 12월:
- 경제산업부 「지역 미래 선도기업」 선정
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| 2018년 |
- 2월:
- 「건강사업장 선언」 선포
- 11월:
- 분자유량제어기 및 표준 컨덕턴스 소자 개발 및 응용으로 일본 표면진공학회 진공부문 「기술상」 수상
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| 2019년 |
- 4월:
- 당사 제품 「컨덕턴스 소자」가 제31회 중소기업 신기술 및 신제품 대상에서 「우수상」 및 산학관 협력 특별상」을 수상했습니다.
- 7월:
- 「표준 컨덕턴스 소자」로 「이와키시 공업제품상」을 수상했습니다.
- 9월:
- 고마 제4공장 가동
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| 2020년 |
- 11월:
- 고마 제3공장 가동
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| 2021년 |
- 10월:
- 「후쿠시마 차세대육성지원기업 인증제도」에서 일하는 여성을 응원하는 중소기업으로 인정받았습니다
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| 2023년 |
- 1월:
- ISO ９００１：２０１５ 인증 취득（본사・이와키 공장・도쿄 사무소）
ISO １４００１：２０１５ 인증 취득（본사・이와키 공장・도쿄 사무소）
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