| 1985年 |
- 8月:
- 東京都港区南青山にて設立
- 10月:
- 東京都大田区西糀谷に開発センター開設
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| 1986年 |
- 1月:
- 世界初の半導体製造ライン用セラミックガスフィルターPGFシリーズを開発･販売
- 9月:
- 半導体製造装置用高精度圧力センサー PC-302シリーズを開発･販売
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| 1987年 |
- 6月:
- 東京都八王子市に本社･工場移転
- 8月:
- 業界初のガスラインベーキングシステムを開発･販売
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| 1988年 |
- 10月:
- 世界初の半導体製造ライン用高耐蝕性ハステロイ®機器UCHシリーズを開発･販売
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| 1989年 |
- 7月:
- 第14回井上春成賞グループ受賞
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| 1991年 |
- 3月:
- 半導体製造ライン用オールメタルフィルターUCSシリーズを開発･販売
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| 1994年 |
- 2月:
- 超高純度ガス小型ピューリファイヤーGPシリーズを開発･販売
- 8月:
- 高性能圧力トランスミッターPC-304シリーズを開発･販売
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| 1995年 |
- 7月:
- 福島県いわき市好間中核工業団地に本社工場新設
東京都八王子市に東京支社開設
メタルエレメント（SU316L及びハステロイ®）の開発･販売
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| 2001年 |
- 4月:
- 東京支社をいわき市本社工場と統合
高耐ノイズ圧力センサーPC-700シリーズの開発･販売
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| 2004年 |
- 10月:
- 業界初300℃圧力センサーPCH-1000シリーズの開発･販売
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| 2005年 |
- 10月:
- PTFEエレメントガスフィルターTFシリーズの開発･販売
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| 2006年 |
- 2月:
- 高精度微差圧計PCZ-300シリーズの開発･販売
- 4月:
- ISO 14001 : 2004認証取得（本社・いわき工場)
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| 2007年 |
- 4月:
- クラス１のスーパークリーンルームを増設
高真空超音波特殊洗浄装置及びシステムを導入
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| 2008年 |
- 1月:
- ISO 9001 : 2000認証取得（本社・いわき工場)
- 3月:
- 東京都中央区に東京支社開設
- 6月:
- 経済産業省・中小企業庁「元気なモノ作り中小企業300社」に選ばれる
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| 2010年 |
- 1月:
- ISO 9001 : 2008認証取得（本社・いわき工場)
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| 2011年 |
- 7月:
- 経済産業省「戦略的基盤技術高度化支援事業」に、計画名「新型MEMS気圧センサーの広帯域化の研究開発」として採択される
- 10月:
- 経済産業省「戦略的基盤技術高度化支援事業」に、計画名「標準コンダクタンスエレメントを用いた基準微小ガス流量導入装置の開発」として採択される
- 12月:
- 浄水器「純真水」シリーズ販売開始
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| 2012年 |
- 9月:
- (独)科学技術振興機構(JST)復興促進プログラム(マッチング促進)タイプⅡに、研究課題名「産業用Ｘ線照射装置の大線量冷陰極Ｘ線管の開発」として採択される
- 12月:
- ガスケットタイプ ガスフィルター「ハイブリットフィルター」PGHシリーズを開発・販売
ハウジングがSUS316L、エレメントにハステロイ®を採用したUCS-Hシリーズを開発・販売
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| 2013年 |
- 12月:
- ・コーンタイプ ガスケットタイプガスフィルターPGTシリーズを開発・販売
・小型大流量PTEEガスフィルターメガフローシリーズを開発・販売
・高温対応の集積タイプ（1.125"、1.5"対応）・絶対圧センサーを開発・販売
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| 2014年 |
- 3月:
- 標準コンダクタンスエレメントSCEおよび、微小ガス流量導入装置PMFC-100シリーズを販売開始
- 10月:
- 「医療機器製造業許可証」を取得（許可番号07BZ200060）
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| 2015年 |
- 7月:
- ISO 13485：2003認証取得
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| 2016年 |
- 8月:
- 国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構の課題設定型産業技術開発費助成金に「IoT技術開発加速のためのオープンイノベーション推進事業」として採択される
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| 2017年 |
- 9月:
- 福島県商工労働部産業創出課「地域復興実用化開発等促進事業費補助金」に「在宅医療・救急医療における医療用X線管および携帯型冷陰極X線源の開発の実証」として採択される
- 12月:
- 経済産業省「地域未来牽引企業」に選定
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| 2018年 |
- 2月:
- 「健康事業所宣言」を宣言
- 11月:
- 「日本表面真空学会」において、国立研究開発法人 産業技術総合研究所 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループと弊社は、分子フローコントローラー・標準コンダクタンスエレメントの開発と応用に関して、2018年度 真空部門『技術賞』を受賞
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| 2019年 |
- 4月:
- 弊社製品の「コンダクタンスエレメント」が、りそな中小企業振興財団および日刊工業新聞社共催の第31回 中小企業優秀新技術・新製品賞にて『優秀賞』および『産学官連携特別賞』をW受賞
- 7月:
- 産業技術総合研究所との連携で「標準コンダクタンスエレメント」を開発した弊社が評価され、いわき市から地元の優れた事業者をたたえる「いわき市ものづくりアワード」を授与
- 9月:
- 好間第4工場稼働
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| 2020年 |
- 11月:
- 好間第3工場稼働
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| 2021年 |
- 10月:
- 福島県次世代育成支援企業認証制度「働く女性応援」中小企業に認証される
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| 2023年 |
- 1月:
- ISO 9001 : 2015認証取得（本社・いわき工場)
ISO 14001 : 2015認証取得（本社・いわき工場)
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