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分子フローコントローラー・標準コンダクタンスエレメントの開発と応用に関して真空部門『技術賞』を受賞

2018.11.20

11月20日『日本表面真空学会』に於いて、国立研究開発法人 産業技術総合研究所 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループと我が社は、分子フローコントローラー・標準コンダクタンスエレメントの開発と応用に関して真空部門『技術賞』を受賞しました。
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